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靶材厂家为您分析溅射不起辉

发布于:2018-02-06 15:46

发布人:dmmaterial

来源:蒂姆(北京)新材料科技有限公司

点击量:258

靶材厂家为您分析溅射不起辉的常见原因

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磁控溅射金属靶时,无法起辉的原因有很多,常见主要原原因有:

1. 靶材安装准确否?

2. 靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质,打磨清理干净后即可

3. 起辉电源是否正常------------检查靶电源

4. 靶与地线之间短路
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关掉机器,把设备的溅射靶卸下来,靶附近的零件仔细清洗一下;
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压靶盖旋的过紧,没有和靶材之间留下适当的距离,调整距离即可。

5. 永磁靶表面场强是否下降太多?
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如果下降太多,需要更换磁钢。

6. 起辉溅射真空度与前次的差别?
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更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。
换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉

 

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