首页> 冶金矿产> 行业动态> 靶材厂家为您分析溅射不起辉

靶材厂家为您分析溅射不起辉

发布于:2018-02-06 15:46

发布人:dmmaterial

来源:蒂姆(北京)新材料科技有限公司

点击量:225

靶材厂家为您分析溅射不起辉的常见原因

蒂姆(北京)新材料科技有限公司  专业镀膜材料供应商,您镀膜的选择

 

磁控溅射金属靶时,无法起辉的原因有很多,常见主要原原因有:

1. 靶材安装准确否?

2. 靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质,打磨清理干净后即可

3. 起辉电源是否正常------------检查靶电源

4. 靶与地线之间短路
----------
关掉机器,把设备的溅射靶卸下来,靶附近的零件仔细清洗一下;
----------
压靶盖旋的过紧,没有和靶材之间留下适当的距离,调整距离即可。

5. 永磁靶表面场强是否下降太多?
---------
如果下降太多,需要更换磁钢。

6. 起辉溅射真空度与前次的差别?
---------
更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。
换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉

 

蒂姆(北京)新材料科技有限公司  专业镀膜材料供应商,您镀膜的选择

相关供应

  • 厂家供应三碲化二铋溅射靶材

    三碲化二铋溅射靶材 Bi2Te3 99.999%圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按图纸加工。

  • 深圳靶材厂家生产供应稀土金属镨溅射靶材

    金属镨靶材Pr99.95%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按图纸加工贵金属铼靶材Re99.99%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按图纸加工贵金属钌靶材Ru99.99%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按图纸加工金属锑靶材Sb99.999%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按

  • 国内靶材厂家直销贵金属铂溅射靶材

    贵金属铂靶材Pt99.99%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按图纸加工金属镨靶材Pr99.95%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按图纸加工贵金属铼靶材Re99.99%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按图纸加工贵金属钌靶材Ru99.99%圆片靶, 矩形靶,圆柱靶,台阶片靶,按

  • 国内厂家生产销售硫化银溅射靶材

    硫化银AgS4N,5N块, 颗粒,粉末,溅射靶材,蒸发镀膜料硒化银Ag2Se4N,5N块, 颗粒,粉末,溅射靶材,蒸发镀膜料氧化碲TeO24N,5N粉末,粉末 ,块,颗粒,溅射靶材,蒸发镀膜料氧化锌ZnO4N,5N粉末,块,颗粒,溅射靶材,蒸发镀膜料砷化锌Zn3As24N,5N块, 颗粒,粉末,溅射

  • 深圳厂家生产供应硫化铟溅射靶材

    氮化硼靶材/氮化硅靶材,氮化硼溅射靶材,我们公司提供的靶材具体如下:碲化铟陶瓷溅射靶材(InTe),硼化物,碳化物,氮化物,氧化物,硅化物,碲化物硼化物陶瓷溅射靶材 硼化二铬靶材 (Cr2B),硼化铬靶材 (CrB),二硼化铬靶材 (CrB2),三硼化五铬靶材 (Cr5B3),

  • 深圳厂家供应高纯硫化铋溅射靶材

    我公司供应各类陶瓷溅射靶材(化合物溅射靶材),产品按原材料分类列表如下:氧化物靶材、氟化物靶材、碳化物靶材、氮化物靶材、硫化物靶材、硅化物靶材、硼化物靶材、硒化物靶材、碲化物靶材、锑化物靶材、磷化物靶材以及一些混合物靶材,掺杂物靶材等。我公司采用的靶

  • 国内厂家生产直供高纯氧化镁溅射靶材

    陶瓷靶材:ITO靶、AZO靶,氧化镁靶、氧化铁靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、硫化镉靶,硫化钼靶,二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶,五氧化二钽

  • 深圳厂家供应氧化铒溅射靶材

    我公司供应各类陶瓷溅射靶材(化合物溅射靶材),产品按原材料分类列表如下:氧化物靶材、氟化物靶材、碳化物靶材、氮化物靶材、硫化物靶材、硅化物靶材、硼化物靶材、硒化物靶材、碲化物靶材、锑化物靶材、磷化物靶材以及一些混合物靶材,掺杂物靶材等。我公司采用的靶

  • 国内厂家直供低价锆镍合金溅射靶材

    我公司供应各类金属合金靶材:1硅铝:各种比例2铜镓:各种比例3锌锡,锌铝,锌镁,锌镓:各种比例等各种锌合金4铜铟镓:各种比例5铝钕:(常规比例(97:3)6铝铜,铝镁各种比例等各种铝合金7铜铟:各种比例8铟锡:各种比例等各种铟合金和锡合金9镍钒(93:7),镍铬,镍

  • 国内厂家供应高密度氧化钇溅射靶材

    我公司供应各类陶瓷溅射靶材(化合物溅射靶材),产品按原材料分类列表如下:氧化物靶材、氟化物靶材、碳化物靶材、氮化物靶材、硫化物靶材、硅化物靶材、硼化物靶材、硒化物靶材、碲化物靶材、锑化物靶材、磷化物靶材以及一些混合物靶材,掺杂物靶材等。我公司采用的靶

免责申明

关于“靶材厂家为您分析溅射不起辉”信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责。亿商网对此不承担任何保证责任。